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    高純電子級氣體

    高純電子級氣體

                        品種名稱

                        英文名

                        化學式

                      純度(%)

                        充裝容器(L)

                        充裝量(Kg)

                        氨氣

                        Ammonia

                        NH3

                        99.999%

                        44、16、8

                        22.7、6.8、4.1

                        99.9997%

                        砷烷

                        Arsine

                        AsH3

                        99.999%

                        50、25、10、5

                        22.7、11.3、4.5、2.3

                        99.9999%

                        三氯化硼

                        Boron trichloride

                        BCl3

                        99.99%

                        44、16

                        36.3、10

    99.999%

    三氟化硼

    Boron trifluoride

    BF3

    99.99%

    44、16、8、7

    27.2、9.1、4.5

    99.995%

    氯氣

    Chlorine

    Cl2

    99.99%

    49、44、16、8

    45.4、40.8、18.1、4.5

    99.999%

    二氯二氫硅

    Dichlorosilane

    SiH2Cl2

    99%

    44、16

    40.9、10

    99.9%

    三氟甲烷

    Halocarbon 23

    CHF3

    99.995%

    44、16

    31.8、5.0

    99.999%

    氯化氫

    Hydrogen chloride

    HCl

    99.995%

    49、44、16

    31.7、27.2、9.1

    99.9995%

    氧化亞氮

    Nitrous oxide

    N2O

    99.97%

    44、16、8

    27.2、9.0、4.5

    99.9998%

    三氟化氮

    Nitrogen trifluoride

    NF3

    99.7%

    44、17

    20、7.7

    99.995%

    SiCl4

    Silicon tetrachloride

    SiCl4

    99.94%

    210MC、38L

    272、45.4

    硅烷

    Silane

    SiH4

    99.999%

    49、44

    14、10

    99.9995%

    磷烷

    Phosphine

    PH3

    99.999%

    44、16、8、3

    13.6、4.1、2.3、0.7

    99.998%

    99.999%



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